Silicon 전구체 개발
- DPT용 전구체 개발
- BDEAS, BTBAS, 3DMAS 등 전구체 생산 기술 개선
- 고반응성 전구체 개발
- 저온 SiN 전구체 개발 고품질 SiO2 전구체 개발
Metal/Metal Nitride 전구체 개발
- High-k 전구체 개발
- Wide ALD Window를 갖는 전구체
- W, Mo, Co, Ru 등 metal 전구체 개발
- 우수한 Metal 증착 특성을 위한 화합물
- Area Selective Depositon용 전구체 개발
- TaN, NbN 등 metal nitride 전구체 개발
- Imido 결합을 갖지 않는 M(V), M(IV) 전구체
- Low-k 전구체 개발
- 저유전막 및 초저유전막용 전구체