본문 바로가기 주메뉴 바로가기

특허

HOME > 회사소개 > 특허

  • 회전식 퓸제거 웨이퍼 스토리지

  • 사염화 정제 장치

  • 염화티타늄의 대기중 분석 방법

  • 웨이퍼 스토리지 퓸 제거 장치

  • 고순도 헥사클로로디실란
    파티클 제거 장치

  • 반도체 검사 장치

  • 반도체 제조 공정용 고점도
    유체 공급 장치