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부품사업

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Ion Implant Parts

Ion Implant 는 고온 고에너지상태의 이온을 다루는 제품으로 일반적인 금속으로는 내구성을 갖을 수 없어 특수한 재질의 금속으로 제작

O-ring

단면이 원형인 합성고무나 내열성 플라스틱으로 만들어진 제품으로 밀봉된 유체의 누설이나 외부 물질의 침입을 차단하는 용도로 쓰이며, 반도체 모든 공정에 다수 사용

Board

각 메모리 디바이스의 성능 테스트 및 제품의 Data화를 위한 측정 장비

TSV(Through Silicon Via) 기술

기존 와이어를 이용해 칩을 연결하는 대신 칩에 미세한 구멍을 뚫어 칩 상하단의 구멍을 전극으로 연결하는 패키징 기술