Poly-Si 증착용 Materials
반도체 제조 공정에서 박막 증착시 저온에서 고속으로 균일한 막질을 형성하기 위한 용도로 사용되는 Gas 입니다.
Si2H6
디실란 혹은 다이실란으로 불리우며, 특수가수의 일종으로 반도체 제조 공정중 Diffusion(확산) 및 CVD 공정에 사용되는 가스
| Chemical name | Disilane |
|---|---|
| Cas No. | 1590-87-0 |
| Molecular formula | Si2H6 |
| Molar Weight | 62.22 g/mol |
| Physical State / Color | Colorless gas |
| Boiling point | -14 ℃ |