실리콘게르마늄(SiGe) 막 형성용 Materials
반도체, LCD 및 박막형 태양 전지의 실리콘게르마늄 (SiGe) 막 형성용 Gas 입니다.
GeH4
반도체, LCD 및 박막형 태양전지의 실리콘게르마늄(SiGe)막 형성용 가스
| Chemical name | 10% GeH4/H2 Mixture | |
|---|---|---|
| Germane(10%) | Hydrogen(90%) | |
| Cas No. | 7782-65-2 | 1333-74-0 |
| Molecular formula | GeH4 | H2 |
| Molar Weight | 76.62 g/mol | 2.03 g/mol |
| Physical State / Color | Colorless gas | Colorless gas |
| Boiling point | -88.4℃ | -252.9 ℃ |